這是晶圓加工中很常見(jiàn)的一根噴淋管，管子上面的小孔孔徑規(guī)格從0.1mm到1mm不等，類型很多。我們做了一個(gè)實(shí)驗(yàn)，看看磨粒流給這些小孔去毛刺前后，噴孔噴出來(lái)的水柱有什么變化。

首先是沒(méi)有去毛刺的噴淋管，我們可以看到這些小孔里射出來(lái)的水柱，有些是歪斜的，有些是分叉的，這是因?yàn)樾】桌镉薪饘倜?，毛刺改變了水流正常的行進(jìn)方向和路線，讓水柱變得散亂。這種情況，在噴淋的時(shí)候，就不會(huì)起到均勻冷卻的作用，有些地方能噴到，有些地方就噴不到了。

我們?cè)倏纯从媚チＡ鹘o這些小孔去毛刺后的水柱，水柱變得均勻了，而且又順又直。

同時(shí)我們還發(fā)現(xiàn)，孔徑越小的噴孔，毛刺的影響就會(huì)越大，就越要把毛刺給清理干凈。另外，這些毛刺還有一個(gè)風(fēng)險(xiǎn)，就是可能隨著高速水流一起被沖下來(lái)，沖擊到晶圓上，將晶圓損壞。

上圖是小孔去毛刺后在放大鏡下的畫面，孔口處是干凈的，也沒(méi)有受到什么破壞，效果非常好。